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        明明還要切割成方形,為何卻要把硅片做成圓形?
        來源:與非網(wǎng) | 作者:chnchip | 發(fā)布時(shí)間: 2021-03-24 | 3412 次瀏覽 | 分享到:

               在半導(dǎo)體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見。


               晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

         

         

               但其實(shí),晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。那么硅片為什么要做成圓的而不是方的?

         

               因?yàn)橹谱鞴に嚊Q定了它是圓形的。因?yàn)樘峒冞^后的高純度多晶硅是在一個(gè)子晶(seed)上旋轉(zhuǎn)生長出來的。多晶硅被融化后放入一個(gè)坩堝(Quartz Crucible)中,再將子晶放入坩堝中勻速轉(zhuǎn)動(dòng)并且向上提拉,則熔融的硅會(huì)沿著子晶向長成一個(gè)圓柱體的硅錠(ingot)。這種方法就是現(xiàn)在一直在用的 CZ 法(Czochralski),也叫單晶直拉法。

         

               有人計(jì)算過,比較直徑為 L 毫米的圓和邊長為 L 毫米的正方形,考慮晶圓制造過程中邊緣 5 到 8 毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以,圓形是等周長時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,在一片晶圓上能分出最多的芯片。

         


               在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。

         

               并且作為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,邊角碎掉什么的造成材料損耗。

         

               嚴(yán)格意義上所有的晶圓都不是圓形的,仔細(xì)觀察會(huì)發(fā)現(xiàn)它其實(shí)是有缺一個(gè)小豁口。主要是為了方便讓設(shè)備對(duì)于晶圓進(jìn)行定位的,只有這樣在進(jìn)行 CPU 內(nèi)核的制作和切割的時(shí)候才更好確定方向。



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        珠海市中芯集成電路有限公司是一家專業(yè)從事集成電路后序加工的高科技電子公司,可以為客戶提供晶圓測試(wafer testing)、晶圓切割Dicing Saw(半切及貼膜全切) 、晶圓研磨減?。╳afer back grinding)、成品測試及tcp/cof/cob封裝等全方位的服務(wù)。公司是中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員,珠海市軟件行業(yè)協(xié)會(huì)副會(huì)長單位,獲授國家高新技術(shù)企業(yè),廣東省“守合同重信用”企業(yè),通過ISO 9001:2008和ISO 9001:2015體系認(rèn)證。中芯的行為準(zhǔn)則是“以客戶為中心,以質(zhì)量求生存,以服務(wù)求發(fā)展!”,希望通過我們的專業(yè)程度和不懈的努力,為客戶提供低成本、高品質(zhì)的產(chǎn)品。